SEMI認證的常見標準

SEMI( 半導體設備與材料的國際性組織 ) 是半導體工業的全球執行聯盟，成立于1970年，總部位于美國加州。

SEMI之下的安全工作小組制定了一套適用于半導體及平面顯示器制造設備的環境、安全及健康的效能的標準，由此發展出SEMI S2國際安全指引的工業評估應用方式。符合SEMI S2，不僅符合了國際相關規定，也是半導體產業的保險公司所要求的必要條件之一。

SEMI S2以效能考量為主，涵蓋半導體制造設備的環境、健康及安全條件。

與其他SEMI指令，如SEMI S8（人體工學要求）和SEMI S10（風險評估）一起使用 ，SEMI S2代表了半導體廠家的基本安全要求。

半導體業者為了降低機械危害的風險，采取非常多類別的防制與管理措施，其中最典型的措施是在采購設備系統時，將SEMI S2安規認證列為必備的規格要求。

SEMI認證和遵守法規的途徑：

對于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半導體制造設備的環境，健康和安全指南》。實際上，其他產品安全準則可以視為支持S2。面向職業健康和安全的指南通常與制造商無關。

SEMI S2認證指南是由SEMI行業的領導者制定的，以確保每臺設備都符合法規要求，并經過嚴格的安全標準檢查。主要包括消防，電氣危險防護，減輕機械危險，化學，輻射，噪聲和人體工程學危險，通風要求，緊急停機程序，排氣規格，危險警告警報和標簽，文件要求等。S2評估通常是買家作為保障的要求，并且可以作為出售的條件。

SEMI S2認證評估：

在電氣/機械安全，化學暴露評估，通風，噪聲，電離輻射，非電離輻射，激光，環境影響評估以及SEMI S2認證指南要求的其他專業領域通常SEMI S2評估將需要以下評估以支持核心S2評估：
提供給用戶的文件
危險警告標簽
安全聯鎖系統
緊急關機
電氣設計
防火保護
加熱化學浴
人機工程學和人為因素
危險能量隔離
機械設計
抗震保護
自動化物料搬運員
環境考量
排氣通風
化學制品
電離輻射
非電離輻射和場
鐳射 放射性物質
聲壓等級

SEMI認證常見安全標準：

SEMI標準中有材料（M系列）、設備（F系列）、平板顯示器（D系列）、跟蹤性（T系列）等，其中S系列規定了環境健康安全（EHS）的要求。

SEMI S1 裝置安全標簽   Safety Guideline for Visual Hazard Alerts
SEMI S2 半導體生產裝置的環境、健康、安全Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S3 熱化學槽的安全性 Safety Guidelines for Heated Chemical Baths
SEMI S4 櫥柜收納高壓氣筒的隔離／分離Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets
SEMI S5 流量限制設備Safety Guideline for Flow Limiting Devices
SEMI S6 換氣Safety Guideline for Ventilation
SEMI S7 半導體生產裝置的環境、健康、及安全性（ESH）評價Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 半導體生產裝置的人機工程學Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S9  半導體生產裝置的電氣設計驗證試驗Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 風險核查Safety Guideline for Risk Assessment
SEMI S11 半導體生產裝置的小環境的環境、安全性及健康Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments
SEMI S12 裝置的去污Guidelines for Equipment Decontamination
SEMI S13 半導體生產裝置的操作及維護手冊Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S14 對半導體生產裝置的火災風險評估和降低Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S15 有毒及易燃氣體的檢測系統評價Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems
SEMI F47 電壓瞬變能力規范 Voltage Sag Standard

SEMI認證辦理：

沃證（VIACERT）SEMI專家團隊可以幫助企業高效地解決半導體設備的安全問題，助力半導體企業滿足最新的SEMI評估要求并取得SEMI認可報告，順利打開半導體市場。